| 刊年 | 1987 |
| 形態 | 冊 ; 27cm |
| シリーズ名 | 半導体研究 ; 26, 28, 30, 32, 34, 36, 38, 40-46巻[超LSI技術 ; 11-24]
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| 注記 | 各章末: 参考文献 |
| 出版国 | 日本 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 著者情報 | 西澤, 潤一 (1926-2018) (ニシザワ, ジュンイチ)
半導体研究振興会 (ハンドウタイ ケンキュウ シンコウカイ)
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| 分類 | 分類の種類 NDC8
分類の記号 549
分類の種類 NDLC
分類の記号 ND371
分類の種類 NDLC
分類の記号 ND386
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| ISBN | 4769310617([その1])
4769310684(その2)
4769310749(その3)
4769310838(その4)
4769310889(その5)
4769310978(その6)
4769311133(その7)
476931129x(その8)
4769311400(その9)
4769311486(その10)
4769311567(その11)
476931163x(その12)
4769311737(その13)
4769311869(その14)
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| 件名 | BSH:半導体
NDLSH:半導体
NDLSH:集積回路
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| NCID | BN01703089 |